Interferometrická laboratoř

Interferometrická laboratoř

Interferometrická laboratoř disponuje dvěma 4" interferometry a jedním 6". V horizontálním uspořádání jsou to 4" interferometr ZYGO GPI XP a 6" interferometr ZYGO VeriFire ATZ, oba jsou umístěny na pneumatickém antivibračním stole. Ve vertikálním uspořádání se jedná o 4" interferometr OWI 150 XT 1250 s interferometrickou jednotkou ZYGO VeriFire PE.

Na těchto interferometrech je možné měřit následující parametry:

• tvary leštěných ploch jak u sférických, tak i u rovinných povrchů
• deformace průchozích nebo odražených vlnoploch
• úhlové deviace nebo klínovitosti paralelních skel
• úhlové odchylky koutových hranolů a pravoúhlých hranolů
• homogenitu skla

Výstupy z měření lze provádět dle normy ISO-10110-5. Data z měření na našich interferometrech také používají naši konstruktéři a technologové při vyvíjení a optimalizaci různých výrobků a výrobních postupů.

Přesnost měření:

• měření tvarů ploch a deformace vlnoploch < λ/20
• měření úhlů < 1"

Měření drsnosti povrchu

Pro kontrolu drsnosti zejména opticky leštěných ploch je používán profilometr Zygo NewView 7100. Jedná se o optický profilometr a drsnoměr na bázi interferometru v bílém světle (white light interferometry).

Charakteristika:
Měření drsnosti RMS od řádu 0,1 Å (0,01nm).
Maximální výškové profily cca 1mm.
Rozlišení kamery 992x992 px.
Motorizovaný stolek 150x150mm umožňuje používání funkce stitching a funkce pattern, náklon stolku ± 4°, max výška vzorku 120mm.
Software Zygo MetroPro, ver.9. - standardní a speciální parametry drsnosti, 2D a 3D zobrazení.
Používané objektivy: 2,5x, 10x, 50x

3D měření

Pro kontrolu tvarově náročných mechanických rozměrů optických součástí s vysokou přesností je optická divize vybavena 3D měřicím přístrojem Zeiss Contura G2 HTG se snímacím systémem VAST XXT.

Přesnost měření je ± (1,8+L/250) μm

Měření úhlů

Pro přesná měření úhlů u optických součástí je používán goniometr Trioptics (f´=300mm) a laboratorní goniometr Carl Zeiss. Přesnost měření úhlů je ± 0,5".

Pro podrobnější informace nás kontaktujte na adrese meopta@meopta.com.