Měření asférické optiky

Interferometrické meření

Stitching interferometr ve vertikálním uspořádání s nahoře uloženou jednotkou Fizeauova typu. Využívá laterální stitching a nulovací optický člen. Měřený kus se upíná regulovatelným podtlakem, mechanickou kleštinou či do HD chucku. Lze vyhodnocovat tvar měřené součásti či deformaci odražené vlnoplochy.

Možnosti měření:

  • rovinné, sférické a asférických leštěné konkávních či konvexní povrchy do průměru 300 mm s přesností do λ/30
  • asferické povrchy bez inflexního bodu s odchylkou až 1000 λ (650 μm) od „best fit sféry“
  • povrchy s numerickou aperturou až do 1 (plné hemisféry)
  • sférická optika se zvýšenou přesností (díky stitchingu automatické zjišťení a odečet systematické chyby zařízení)
  • radiusy do velikosti 800 mm
  • odchylky rovinných, sférických a asférických povrchů s možností exportu dat pro následnou korekci
     

3D profilometrické meření

3D bezkontaktní profilometr pro měření rotačních ploch s a bez inflexního bodu. Měřený kus upnut mechanickou kleštinou či do HD chucku. 

Možnosti měření:

  • rovinné, rotační sférické a asférické leštěné či broušené konkávní či konvexní povrchy do průměru 260 mm s přesností do 50 nm
  • povrchy s numerickou aperturou až do 1 (plné hemisféry)
  • libovolné radiusy
  • maximální výška měřeného kusu 75mm
  • odchylky rovinných, sférických a asférických povrchů s možností exportu dat pro následnou korekci
     

2D profilometrické meření

2D kontaktní profilometr pro měření profilů různých ploch, úhlů, strmých schodů atd. Měřený kus položen na justážním stolku, upnut mechanickou kleštinou či do HD chucku. 

Možnosti měření:

  • rovinné, sférické a asférické leštěné či broušené konkávní či konvexní povrchy do průměru 200 mm s přesností do 0,2 um
  • výška strmých schodů, napařených vrstev atd.
  • vyhodnocení drsnosti povrchu
  • měření libovolných radiusů
  • maximální výška měřeného kusu 47mm (závislé na použitém měřicím raménku)
  • odchylky rovinných, sférických a asférických povrchů s možností exportu dat pro následnou korekci