Laserové zdroje záření a metrologie optických soustav v DUV spektrální oblasti

Název projektu: Laserové zdroje záření a metrologie optických soustav v DUV spektrální oblasti

Projekt (FW03010232) Laserové zdroje záření a metrologie optických soustav v DUV spektrální oblasti je řešen s finanční podporou TA ČR.

Příjemce: Meopta - optika, s.r.o.

Další účastník: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v.i.

Doba řešení projektu: 1/2021 - 12/2024

Poskytovatel dotace: Technologická agentura ČR

Program: TREND

Kód projektu: FW03010232

Kód projektu Meopta: DP0031

Cíl projektu: Hlavním cílem projektu je ve spolupráci s Ústavem přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. realizovat vlastní zdroj laserového záření na vlnových délkách 266nm a 213nm, adaptovat metrologické zázemí a metody především pro vlnové délky 213nm a 193nm pro uplatnění v budoucí produkci firmy Meopta-optika, s.r.o.